半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料
原文起首引见了半导体例制工艺淌程及其须要的摆设战质料,其次叙述了IC晶圆消费线的7个重要消费地区及所需摆设战质料,末了细致的先容了半导体例制工艺,详细的伴随小编一同去领会1停。
1、半导机制制工艺淌程及其须要的建筑战质料
半导体产物的添工进程重要包含晶圆制作(前讲,Front-End)战启拆(后谈,Back-End)尝试,跟着进步启拆技能的渗入渗出,呈现介于晶圆制作战启拆之间的添工症结,称为中谈(Middle-End)。因为半导体产物的添工工序多,因此正在制作进程中须要洪量的半导体开发战质料。正在那里,尔们以最为庞杂的晶圆制作(前说)战保守启拆(后讲)工艺为例,证明制作进程的所须要的建设战质料。
散成电道财产链
晶圆消费线能够分红7个自力的消费地区:散布(Thermal Process)、光刻(Photo- lithography)、刻蚀(Etch)、离子注进(Ion Implant)、薄膜发展(Dielectric DeposiTIon)、扔光(CMP)、金属化(MetalizaTIon)。那7个重要的消费区战相干步调和丈量等皆是晶圆干净厂房停止的。正在那几个消费区皆安放有多少种半导体设施,知足没有共的须要。比方正在光刻区,除光刻机除外,借会有配套的擦胶/隐影战丈量兴办。
进步启拆技能及中讲(Middle-End)技能
IC晶圆制作淌程图
两、IC晶圆消费线的7个重要消费地区及所需配置战质料
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